低溫電磁閥 LNG至超導設備的解決方案

一、閥體材質低溫性能對比

二、應用領域技術要求

1. LNG系統設計

• 絕熱結構：真空多層絕熱(VMLI)設計，確保閥體表面不結霜
• 認證：EN 1473 LNG規范
• 緊急切斷：快速響應，API 607標準

2. 半導體冷卻系統要求

• 高潔凈度：電拋光處理(RA≤0.4μm)
• 無泄漏：金屬波紋管密封(≤1×10⁻⁸Pa·m3/s)
• 防磁干擾：磁屏蔽設計

三、特殊結構特點

1. 低溫設計

• 防冷橋結構：PTFE隔熱墊片阻斷熱傳導
• 預緊力補償：記憶合金彈簧自動調節密封壓力
• 低熱容閥芯：鈦合金材質減少冷量損失

2. 電壓選擇指南

四、常見問題解答

Q1：為什么LNG系統使用316不銹鋼？

原因：

1. 抗硫化物應力開裂性能
2. 氯離子耐受度比304高
3. 低溫韌性好(夏比沖擊功≥100J@-196℃)

Q2：如何處理液氮系統的閥門凍結問題？

解決方案：

• 采用真空絕熱閥體(熱流密度≤0.5W/m2)
• 配置電伴熱系統(功率密度15W/m)
• 定期排放閥腔積液(建議每周一次)

Q3：半導體設備用閥有何特殊要求？

需滿足：

• 顆粒控制：≥0.1μm顆粒數<100個/m3
• 出氣率：TML≤0.1%，CVCM≤0.01%
• 材質：SEMI F51標準兼容

五、選型流程

1. 確定溫度范圍：
   • -29℃～-100℃：304不銹鋼
   • <-100℃：316不銹鋼
2. 介質特性匹配：
   • 氧化性介質：電解拋光處理
   • 純介質：鏡面拋光(RA≤0.2μm)
3. 安全認證選擇：
   • 防爆區域：ATEX/IECEx認證
   • 氧服務：ASTM G88兼容

六、維護保養規范

七、典型故障處理

現象：閥門在-150℃卡死

處理步驟：

1. 檢查潤滑脂是否低溫固化
2. 驗證閥桿直線度(偏差≤0.02mm/m)
3. 確認預緊力是否足夠(≥200N)

預防措施：

• 使用低溫專用潤滑脂(適用-200℃)
• 安裝導向軸承減少側向力
• 定期進行低溫循環測試